Словарь содержит около 15 тыс. терминов по конструкции, технологии и применению тонко- и толстоплёночных гибридных микросхем и полупроводниковых интегральных схем, по конструкции и характеристикам схемных элементов микроэлектроники, по технологическим процессам и оборудованию для микроэлектроники, испытанию и контролю полупроводниковых приборов и микроэлектронных устройств. В конце словаря даны сокращения. Словарь предназначен для переводчиков, инженерно-технических работников, студентов, аспирантов и преподавателей.